電容式傳感器?的三種基本結(jié)構(gòu)形式

   電容式傳感器的三種基本結(jié)構(gòu)形式。它們又可按位移的形式分為線位移和角位移兩種每一種又依據(jù)傳感器權(quán)板形狀分成平板和圓形或圓柱(圓筒)形，雖然還有球面形和鋸齒形等其他的形狀、但一般很少用，故表中未列出。其中差動(dòng)式傳感器一般優(yōu)于單組(單邊)式傳感器。它靈敏度高、線性范圍寬、穩(wěn)定性高。
    1．變?cè)研碗娙菔絺鞲衅?/span>
    變距型電容式傳感器用一個(gè)固定扳和一個(gè)可動(dòng)板構(gòu)成：可動(dòng)板由被測(cè)金屬平面充當(dāng)。當(dāng)電容式傳感器板間距因被測(cè)量變化而變化時(shí)．電容變化量為距是時(shí)的初始電容量。
    板間距的變化不是線性關(guān)系說(shuō)明該類型電容式傳感器存在著原理性非線性誤差．即量程遠(yuǎn)小于兩板問(wèn)的初始距離)時(shí)，可以認(rèn)為么是線性關(guān)系，因此，這種類型的傳感器一般用來(lái)測(cè)量微小的位移變化量。
    但在板間距過(guò)小時(shí)，電表面的平面度對(duì)靈敏應(yīng)有影響，同時(shí)還容易引起電容器擊穿，
    因此．板間距不能無(wú)限小。改善的辦法是在板間增放一片云母片或塑料膜。
    云母的相對(duì)介電系數(shù)為空氣的7倍其擊穿電壓不小于l0的3次方kv／mm，而空氣的擊穿電壓僅為
    3kv/mm，即使厚度為0.01mm的云母片，它的擊穿電壓也術(shù)小于10kv／mm。因此，放置云母片后，板之間的起始距離卸可以大大減小。只要云母片選得恰當(dāng)，就能獲得較好的線性關(guān)系拉繩位移傳感器。
    一般電容式傳感器的起始電容約為20PF一30pF之間，板間距在25um一200um左右,大位移應(yīng)該大于間距的1/10.
    實(shí)際使用中，為改善非線性，提高靈敏度及克服某些外界條件如電源電比、環(huán)境溫度變化的影響等、常常采用茲動(dòng)式結(jié)構(gòu)，在未開始測(cè)量的初始狀態(tài)時(shí)，將可動(dòng)板調(diào)整友中間位置，位兩邊電容相等；測(cè)員時(shí)。中間板跟隨被測(cè)對(duì)象上下移動(dòng)，就會(huì)引起上下兩部分的電容量上增下減或上減下增，所以兩邊電容的控值這樣提高了靈敏廢，問(wèn)時(shí)在零點(diǎn)附近作的線性度也得到了改善.
    需要指出，圓柱形板小能制成交權(quán)距利。
    2．變面積(s)型電容式傳感器
    變四積型電容式傳感器中．平板形結(jié)構(gòu)對(duì)圾距變化特別敏感，測(cè)量精度受到影響，而圓柱形結(jié)構(gòu)受權(quán)板徑向變化的影響很小v成為實(shí)際應(yīng)用中常來(lái)只結(jié)構(gòu)．其干線位移單組式的電容量在忽略邊緣效應(yīng)時(shí)為電容傳感器的電容變化與線位移成正比。
    3．變介電常數(shù)(e)型電容式傳感器
    變介電常數(shù)(c)型電容式傳感器大多用來(lái)測(cè)量電介質(zhì)的厚度、液位、還可根據(jù)間介質(zhì)
    的介電常數(shù)隨溫度、濕度改變而改變來(lái)測(cè)量介質(zhì)材料的溫度、濕度等。若忽略邊緣故應(yīng)，表5—l中單組式平板形線位移傳感器的電容量與介質(zhì)線位移的關(guān)系為固定板的長(zhǎng)度和寬度及被測(cè)物進(jìn)入兩板間的長(zhǎng)度。
    由此可見，電容量與線位移呈線性關(guān)系。
    厚度傳感器中的電容量與厚度的關(guān)系為式中的符號(hào)含義與式相同。由此可見，電容量與厚度之間呈非線性關(guān)系。
應(yīng)該注意的是，如果電之間的被測(cè)介質(zhì)導(dǎo)電時(shí)，在電表面應(yīng)涂覆絕緣層，以防止電間短路。